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    半导体湿度传感器工作原理

    发布时间:2010-02-20 17:46:43  来源:资料室    作者:   更新20171020 210400

    半导体湿度传感器:
    1. 构造与原理
    半导体湿度传感器的构造大都是由强化型MOS FET与具感湿性树脂膜所构成,此类组件又称为CFT(Charge flow transistor)Si半导体湿度传感器。如图1所示上面的感湿膜,是一种高阻抗膜如PAPA (Polyamino Phenylacetylene),因水蒸气而使阻抗减低的物质。

    图1 Charge flow transistor(CFT)的截面构造

    以传感器之工作原理,分别由图2(a)-(c)说明,(a)图中 CFT 的闸极(gate)不加电源,漏极(drain)与源极(source)成高阻抗,即开路状态。(b)图中将闸极开关切入,闸极变成正电位,正电荷开始向感湿树脂膜扩散,而对应的Si 半导体中将感应负电荷。(c)图中经过一段时间后正电荷扩散至全部树脂膜,而负电荷亦在Si 半导体中形成,于是漏、源极间阻抗变小,FET 导通。而树脂膜扩散正电荷的能力和湿度有关,湿度高扩散力愈强,相对的感应的负电荷亦提高,于是漏源极的阻抗将降的更低。

    图2 CFT的工作原理

    2. 特性
    CFT在使用时,一般均将其做成两个反相器构成振荡器,以便将相对湿度转换成量化频率,由于CFT 体积很小,所以可以和测湿度不可或缺的温度传感器,做在同一块基板上。


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  • 湿度传感器用途呢? 匿名 于2017-05-03 20:55:16发布
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