GaN--氮化镓蓝色LED & InGaN—氮化铟镓高亮度蓝色LED(Ⅲ-Ⅴ族)
1、元件构造与发光特性
此种半导体材料的制作是由日本人中村修二(Shuji.Nakamura)博士所研发,当在其研发的时后,大多数人皆一致看好ZnSe材料,但经过中村博士不断的努力,最后制作出目前极为热门的GaN蓝光半导体元件。 GaN采用蓝宝石(Sapphire)作为基板,并在基板上先长出一层以GaN为材料的的缓冲层(GaN Buffer Layer)以降低晶格不匹配的问题,最后做出了PN接面二极管(图3-6),其在当时已是非常了不起的高功率蓝色LED。然而为了提高亮度采用P-GaN/N-InGaN双异质结构(图3-7),此时所发出的蓝色光波长为440nm,但其亮度仍不是户外所能使用的烛光级。由于前述的材料结构所发出之光仍不够亮,且波长偏紫色,故进行结构修改。首先以Zn参杂InGaN发光层以提高亮度,再将GaN改为AlGaN以扩大发光层与夹层的能障,成功地完成了烛光级的高亮度In0.06Ga0.94N/Al0.15Ga0.85N (图3-8),波长为450nm,发光强度为1200mcd,并进而将此蓝色LED商品化。
2、结晶成长技术
中村博士于1990年9月使用创新技术的双气流(two flow)MOCVD,用于GaN的结晶生长,并改良使用GaN作为缓冲层的材料,成功地克服了晶格匹配的问题。再者发现使用热退火的制程,突破GaN结晶膜P型化的问题。上述两种技术的突破,可谓造成今日GaN或InGaN蓝色发光二极管成功的重大因素。
3、应用
在全彩化的条件中,已有红色和绿色高亮度LED,现在蓝色高亮度发光二极管也被开发出来后,更有助于户外大型看板视觉上的改进。
InGaN—氮化铟镓高亮度蓝绿色LED (Ⅲ-Ⅴ族)
上述中的高亮度蓝色InGaNLED,虽然解决了室外全彩化看板的问题,但由于其所发出的光太蓝了,所以不适用于交通号志上。有鉴于此,中村博士将发光层的InGaN中的In含量增加,以使其发光波长能介于蓝绿色的范围。此外,又在InGaN发光层(上图3-8)中同时参入Zn和Si以提高功率,最后做出波长为500nm,亮度为2000mcd的高亮度In0.23Ga0.77N/Al0.15Ga0.85N蓝绿色LED并进行商品化。 InGaN单一量子井(SQW)结构高亮度蓝、黄、绿、紫LED(Ⅲ-Ⅴ族) 将InGaN高亮度蓝绿色LED中的In含量增加时,无法做出波长大于500nm的绿、黄色LED,原因是因为晶格常数不匹配所致。为了改善此现象,中村博士采用了量子井结构来解决此问题(图3-9),在N-InGaN与P-AlGaN间再生长一层不参杂,仅20Å之In xGa1-xN单一量子井结晶层作为活性层,并调整其In含量(不同的颜色时,其三元材料的含量皆不同)以制作SQW高亮度蓝色(x=0.2)、绿色(x=0.43)、黄色、紫色(x= 0.09)LED,波长分别为450nm、525nm、590nm和4

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